Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н.Г. Чернышевского
ОСНОВАН В 1909 ГОДУ
наверх

Автоэмиссионный сканирующий (растровый) электронный микроскоп Mira II LMU в комплектации с интегрированной системой определения элементного состава AztecLive Advanced Ultim Max 40 Inca Wave 500. TESCAN, Чехия.

Год выпуска СЭМ Mira II LMU — 2008, системы определения элементного состава AztecLive Advanced Ultim Max 40 Inca Wave 500, год выпуска — 2020.

Используемое научное оборудование:  

Сканирующий электронный микроскоп (СЭМ), система для подготовки образцов и улучшения контраста СЭМ. 

Перечень услуг - сканирующая электронная микроскопия: 

  1. Измерение морфологии рельефа поверхности. Не более 20 картинок. 

  1. Определение элементного состава образцов методом рентгеноспектрального микроанализа. Не более 12 спектров. 

  1. Измерение биологических тканей. 

  1. Измерение размеров микро- и наночастиц. 

  1. Исследование катодолюминесценции поверхности. Не более 20 картинок. 

Перечень методик выполнения измерений: 

  1. Методика измерений линейных размеров методом растровой электронной микроскопии. 

  1. Методика измерений массовой доли элементов методом растровой электронной микроскопии. 

  1. Методика измерений линейных размеров методом сканирующей просвечивающей электронной микроскопии. 

  1. Методика измерений массовой доли элементов с помощью сканирующего электронного микроскопа. 

  1. Методика измерения морфологии методом сканирующей электронной микроскопии. 

  1. Методика измерения морфологии методом сканирующей просвечивающей электронной микроскопии. 

  1. Методика исследование катодолюминесценции поверхности методом сканирующей электронной микроскопии. 

Краткое описание прибора 

Аналитический сканирующий электронный микроскоп высокого разрешения для широкого круга исследовательских задач и контроля качества на субмикронном уровне.  

TESCAN MIRA – сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) четвертого поколения с катодом Шоттки, позволяющий получать СЭМ-изображения и проводить анализ элементного состава в реальном времени в одном окне программного обеспечения TESCAN Essence™, что значительно упрощает получение данных как о морфологии поверхности образца, так и о его локальном элементом составе и делает СЭМ TESCAN MIRA эффективным аналитическим решением для проведения регулярного контроля качества материалов и изделий, анализа отказов и различных лабораторных исследований. Модернизированная колонна электронного микроскопа TESCAN MIRA управляется усовершенствованной электроникой, которая обеспечивает мгновенный переход от режима получения изображений при больших увеличениях к режиму исследования элементного состава образцов без механической смены апертур или механической юстировки каких-либо элементов внутри колонны. Один клик позволяет переключаться между предустановками, сохраняющими все настройки параметров микроскопа.  

Спецификация  

· Разрешение в режиме высокого вакуума (SE, InBeam): 1,0 нм при 30 кВ, 1,2 нм при 15 кВ, 2,0 нм при 3 кВ, 3,5 нм при 1 кВ.  

· Разрешение в режиме низкого вакуума (BSE): 2,0 нм при 30 кВ.  

· Увеличение: от 4х до 1000000х.  

· Ускоряющее напряжение: от 200 В до 30 кВ.  

· Электронная пушка: автоэмиссионный катод Шоттки.  

· Ток зонда: от 2 пА до 100 нА  

· Камера образцов: внутренний диаметр: 230 мм; ширина дверцы: 148 мм; количество портов: 11.  

· Рабочее значение вакуума в камере: режим высокого вакуума: < 1*10-2 Па; режим переменного вакуума: 7 - 150 Па.  

· Рабочее значение вакуума в пушке: < 3*10-7 Па.  

· Установленные детекторы: SE – детектор вторичных электронов типа ЭТ (YAG кристалл); RBSE – выдвигаемый детектор отраженных электронов сцинтиляторного типа; InBeam – детектор вторичных электронов, встроенный в объективную линзу; TE – детектор «на просвет» (детектор прошедших электронов); CL – панхроматический катодолюминесцентный детектор, измерение поглощенного тока зонда, индикация касания, телекамера для обзора камеры образцов.  

· Столик образцов: полностью моторизованный эвцентрического типа.  

· Перемещение столика образцов: X-Y-Z (мм): 80-60-47; вращение: 360* непрерывно; наклон: от 75 до +50 градусов; максимальная высота образца: 60 мм.  

· Время откачки после замены образца: не более 3 минут.  

· Подвеска камеры и колонны: активная электромагнитная.  

· Размер изображения: от 512Х512 до 8192Х8192 пикселей.  

· Формат изображения: квадратный или прямоугольный с соотношением сторон 3:4 или 1:2.  

· Глубина градации серого/цветности: до 16 бит на канал.  

· Формат изображения: BMP, TIFF, JPEG, JPEG2000, GIF, PNG.  

· Скорость сканирования: от 160 нс до 10 мс на пиксель.   

 

https://tescan.ru/product/skaniruyushchie-elektronnye-mikroskopy/tescan-mira/  

 

Список статей 

2020  

10.1134/S0030400X20060235  

10.21883/OS.2020.06.49413.26-20  

10.3390/inorganics8020011  

10.1016/j.nano.2020.102184  

DOI: 10.1038/s41377-020-00410-8  

DOI: 10.3390/ijms21072315  

DOI: 10.1021/acsomega.9b03819  

DOI: 10.1002/smll.201904880  

DOI: 10.1016/j.nano.2020.102184