В лаборатории микроэлектроники разработаны:
Патент:
№ 2341768 Способ определения оптических и геометрических параметро анизотропной щелевой структуры с нанометровыми и субмикронными размерами элементов. (авт. Биленко Д.И., Сагайдачный А.А.)
№ 32323 Отражающий экран (авт. Биленко Д.И., Лодгауз В.А., Терин Д.В.)
№ 2528775 Аккумулирующий материал для насыщения атомарными веществами и способ его получения (авт. Аникин А.А., Вениг С.Б., Биленко Д.И., Жуков А.Г., Грибов А.Н. )
Авторское свидетельство:
№1591751 «Способ получения эпитаксиальных структур на основе арсенида галлия» (авт. Биленко Д.И.)
№ 1047228 «Способ управления процессом осаждения полупроводниковых и деэлектрических пленок» (авт. Биленко Д.И., Галишникова Ю.Н., Колдобанова О.Ю., Шадрухина С.Г.)
№ 1598773 «Способ определения содержания водорода в слоях аморфного гидрогенизированного кремния» (авт. Биленко Д.И и др)
№ 841532 «Подложка для контролируемого создания эпитаксиальных структур» (авт.Биленко Д.И., Абаньшин Н.П., Галишникова Ю.Н., Шадрухина С.Г.)
№ 1481594 «Способ определения параметров анизотропной поверхности» (авт. Биленко Д.И., Полянская В.П., Иванов М.В.)
№ 1588210 «Способ измерения глубины канавок микроструктур» (авт. Биленко .И., Смирнов А.И.)
№ 1500098 «способ определения вольт-амперных характеристик полупроводниковых материалов и структур в сильных СВЧ-полях» (авт. Биленко Д.И., Куцевляк П.И.)
№ 1080684 «Способ измерения толщины слоев в процессе их образования» (авт. Биленко Д.И., Полянская В.П., Смирнов А.И.)
№ 556711 «Фазовращатель миллиметрового и субмиллиметрового диапазона длин волн» (ав. Биленко Д.И. и др.)
Свидетельство об отраслевой регистрации разработки
№ 10716 «Методы и средства контроля процессов и структур in situ» (авт. Биленко Д.И., Белобровая О.Я., Галушка В.В., жаркова Э.А., Мельникова Т.Е., мысенко И.Б., Полянская В.П., Сагайдачный А.А., Смирнов А.И., Терин Д.В,, Хасина Е.И.)
Электронные ресурсы
№ 18362 Методы и средства контроля процессов и структур in situ (авт. С.Б. Вениг, Д.И. Биленко, О.Я. Белобровая, В.В. Галушка, Э.А. Жаркова, Т.Е. Мельникова, И.Б. Мысенко, В.П. Полянская, А.А. Сагайдачный, А.И. Смирнов, Д.В. Терин, Е.И. Хасина)
№ 50201250896 Многопараметровая диагностика микро- и наноструктур (авт. С.Б. Вениг, Д.И. Биленко, О.Я. Белобровая, В.В. Галушка, Э.А. Жаркова, Т.Е. Мельникова, И.Б. Мысенко, В.П. Полянская, А.А. Сагайдачный, А.И. Смирнов, Д.В. Терин, Е.И. Хасина)
