Отчеты

Выполненные работы за период существования подразделения.

Отчет  о работе НТЦ "Микро- и наноэлектроника" в 2014 г.

 

 

1. Организационная работа.

1.1. Замещение вакантных должностей.

         На все 13 штатных единиц подобраны и приняты сотрудники на работу в НТЦ. Кроме того, для работы по гранту "Коллизия" приняты на тему еще 8 сотрудников.

1.2. Оформление юридических прав для работы НТЦ на "Контакте".

         Заключен договор об аренде с «Контактом», на его основе в первом квартале 2015 года будет введено администрирование СГУ в НТЦ на  "Контакте".

1.3. Определение эксплуатационных расходов и потребности в расходных материалах.

         Эксплуатационные расходы и потребность в расходных материалах будут определены после запуска в эксплуатацию всего необходимого оборудования.

1.4. Приобретение оборудования.

         Были подготовлены технические требования и проведены закупки по Программе НИУ технологического и контрольно-измерительного оборудования. Также на средства гранта по ФЦП подготовлены технические требования для закупки программно-аппаратного комплекса для проведения объемных расчетов радиочастотных идентификационных меток на ПАВ с антиколлизионной защитой.

         Составлен список недостающего для завершения технологической цепочки оборудования.

         Проведена установка и запуск в эксплуатацию Лазерного генератора изображений ЭМ 5109.

         В декабре ожидается поставка Установки плазмохимического травления CORIAL 210 IL (Франция), Зондовой станции для контроля на пластине структур в диапазоне до 40 ГГц (Тайвань) и Лазерного сканирующего профилометра Olympus LEXT (Япония).

         Для завершение создания высокотехнологичного комплекса для опытного производства радиочастотных идентификационных меток на ПАВ в количестве до 1 млн. шт. в год необходимы ещё следующие приобретения:

1. Оборудование.

№	Название оборудования	Цены на май 2014	Цены на 01.01.2015
1	Установка отмывки и очистки пластин и фотошаблонов SWC-3000М	6 млн. руб.
2	Установка нанесения и сушки фоторезиста Sawatec SM180-HP200HMDS	6 млн.руб.
3	Установка проявления фото- и электронного резистов Sawatec LRD-250	3 млн.руб.
4.	Универсальная система плазменной очистки подложек от резистов PTP-200	11 млн. руб.
5.	Программируемый генератор СВЧ сигналов M8195A (Keysight, США)	12 млн. руб.
6.	Цифровой осциллограф до 20 ГГц (Аgilent Technology,США)	9 млн. руб.
7.	Монтажные столы с устройствами микросварки и вакуумирования (5 шт.)	4 млн. руб.
	ИТОГО	51 млн. руб.

 

2. Расходные материалы (на год)

- полированные пластины ниобата лития, танталата лития, лангасита,

- пластины стеклянных фотошаблонов с резистом и без резиста,

- особо чистые мишени для распыления из алюминия, ванадия, титана, хрома, молибдена, сплавов алюминия с медью, золота, платины, серебра, вольфрама,

-особо чистые газы - аргон, азот, кислород, хлор, этилен, фреоны,

- химикаты: фоторезисты разных марок, электронные резисты разных марок, в т.ч. ZEP 520 (Япония), проявители, травители и т.п.)

Оценочная стоимость -                                                                  5-7 млн. руб.

 

3. Затраты на монтаж, спецоснастку и др. сопутствующие работы -

Оценочная стоимость                                                                        4 млн. руб.

 

ИТОГО                                      60-62 млн. руб. (в ценах на май 2014 г.)

_____________________________________________________________________________________

 

ОТЧЕТ

 

о работе НТЦ "Микро- и наноэлектроника" в 1 квартале 2015 г.

 

1. Организационная работа.

 

1.1. Ввод в эксплуатацию оборудования, приобретенного по Программе НИУ в декабре 2014 г.

 

Рис. 1. Лазерный сканирующий 3D микроскоп Olympus Lext (Япония)

 

Рис.2. Инспекционный микроскоп Olympus (Япония)

Рис.3. Зондовая станция для измерения СВЧ параметров приборов на кристаллической пластине (Тайвань)

Рис.4. Установка плазмохимического травления (Франция)

1.2. Организация рабочих мест для проведения измерений и контроля геометрических и электрических параметров радиочастотных идентификационных меток

Рис.5. Рабочее место измерения геометрических параметров и дефектности планарных металлизированных структур

Рис.6. Рабочее место для измерения электрических СВЧ характеристик приборов на кристаллической пластине

1.3. Организация обеспечения эксплуатации оборудования расходными материалами (спецгазы, электронные и фоторезисты, пластины стеклянных фотошаблонов, фильтры для системы кондиционирования, моющие средства для стирки халатов и комбинезонов, стен и полов в «чистых помещениях», бахилы, шапочки, липкие коврики и т.п.).

Не выполнено.

1.4. Подготовка технических требований для закупок оборудования.

         В связи с ограниченным финансированием в 2015 г. для закупок выбрано минимально необходимое для начала работ оборудование, обеспечивающее в первую очередь чистоту в помещениях «чистой комнаты» (шлюз), чистоту технологических операций (установка очистки пластин), а также качество некоторых технологических операций.

Выполнено

         2. Научная работа.

2.1. Проведение технологических исследований для определения конкретных условий и режимов для качественного изготовления металлизированных структур стеклянных фотошаблонов с размерами от 1 мкм и структур меток на ниобате лития с размерами элементов менее 400 нм.

Частично выполнено

2.3. Исследования по разработке антиколлизионных радиочастотных идентификационных меток (в рамках НИР «Коллизия»).

Разработаны и изготовлены метки в диапазоне 2.45 ГГц, обеспечивающие одновременное опознавание 100 меток.

Рис. 7. Временная характеристика РИМ.

2.4. Начаты исследования по пространственной идентификации меток.

         3. Инновационная деятельность.

3.1. Разработаны и изготовлены образцы антиколлизионных радиочастотных идентификационных меток в диапазоне частот  2.45 ГГц. Часть образцов передана в ОАО «Алмаз» для разработки и изготовления ридера.

 

3.2. Ознакомление с проблемой применения РЧИ в трубном производстве. Ведется проработка и согласование технических требований на проект.

 

3.7. Проработка технических требований на проект по РЧИ для идентификации продукции и логистики.

 

         4. Учебная деятельность.

4.1. Проведение обучения аспирантов и сотрудников НТЦ эксплуатации и применению имеющегося оборудования.

4.2. Подготовка лабораторных работ для студентов ФНБМТ.

 

Руководитель НТЦ "Микро- и наноэлектроника"

С.Г.Сучков

____________________________________________________________________________

 

ОТЧЕТ

о работе НТЦ «Микро- и наноэлектроника» в 3 квартале 2015 г.

 

         1. Организационная работа

1.1. Проведено техническое обслуживание «чистой комнаты» и комплексное опробование системы кондиционирования воздуха на поддержание параметров температуры и влажности с опробованием защит и блокировок установленных элементов.

1.2. Подготовлен и проведен конкурс на закупку генератора импульсных сигналов для частот до 3 ГГц в рамках выполнения прикладных научных исследований в рамках реализации Федеральной целевой программы «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014-2020 годы».

 

1.3. Организация обеспечения эксплуатации оборудования расходными материалами (спецгазы, электронные и фоторезисты, пластины стеклянных фотошаблонов и кристаллические подложки). 

Не выполнено. Конкурс на закупку материалов объявлялся два раза, но не состоялся в связи с отсутствием поданных заявок. Причина - несогласие поставщиков с условиями закупки.

 

         2. Научная работа

2.1.   Разработаны конструкции радиочастотных идентификационных меток (РИМ) на поверхностных акустических волнах (ПАВ) с дискретно-временным кодированием в диапазонах частот «900 МГц» и «2.45 ГГц». Подготовлена эскизная документация.

По расчетам с применением разработанной фрактальной антенны РИМ в диапазоне «900 МГц» должны быть достигнуты требуемые по ТЗ параметры, а именно, одновременное распознавание до 1000 РИМ при удалении их от антенны ридера до 20 м с  условием различий по дальности всех меток не более 3 м.

2.2    Разработаны конструкция РИМ на ПАВ с корреляционной обработкой кодового сигнала в диапазонах «900 МГц» и «2.45 ГГц». Подготовлена эскизная документация. Эти метки предназначены для экспериментального исследования на 4 этапе возможностей корреляционного способа распознавания и сравнения с теоретическими расчетами. 

Рисунок 1- Эскиз конструкции метки на 900 МГц

Рисунок 2- Эскиз конструкции метки на 2,45 МГц

2.3.   Разработана тестовая конструкция РИМ на ПАВ в диапазоне «6 ГГц» для экспериментальной проверки теоретических расчетов. Подготовлена эскизная документация. Структура метки содержит эквидистантные отражатели для удобства измерений временных характеристик. 

Рисунок 3- Эскиз конструкции метки на 6 ГГц

2.4.   Опубликованы три статьи в изданиях, индексированных в Scopus.

2.5    Разработано новое техническое решение и подана заявка на изобретение многодиапазонной РИМ с дискретно-временным кодированием, позволяющее увеличить количество антиколлизионных кодов до 1 млн и, возможно, еще больше.

Из ФИПС получено Уведомление о поступлении и регистрации заявки.

2.6 17 сентября два наших сотрудника Янкин С.С. и Литвиненко А.Н. защитили диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук.

2.7 С 29 сентября до 3 октября г.Севастополь инженер НТЦ Янкин С.С. принял участие в качестве приглашенного молодого ученого в международном научном форуме «Наука будущего – наука Молодых». На конференции он выступил с лекцией «Взаимодействие поверхностных акустических волн с неоднородностями, сравнимыми с длиной волны». Также он участвовал в оценке конкурсных работ студентов и аспирантов.

2.8 Янкин С.С. принял участие в школе по патентоведению, которая проходила в Сколково.

2.9 В Санкт-Петербурге на предприятии ОАО «Авангард» инженер НТЦ Янкин С.С. выступил на семинаре с сообщением о результатах разработки метки на 6 ГГц.

         3. Инновационная деятельность

3.1 Планируются работы по обеспечению совместимости, разработанных нами РЧМ, с ридером производства ОАО «Авангард».

3.2 Разработка технического задания для системы РЧИ боеприпасов.

3.3 Ведется ознакомление с проблемой применения системы РЧИ для учета и хранения культурно-художественных ценностей.

4. Учебная деятельность

4.1. Подготовлены 2 лабораторные работы для студентов ФНБМТ, связанные с освоением технологии изготовления фотошаблонов.

 

Руководитель НТЦ "Микро- и наноэлектроника"

С.Г.Сучков

____________________________________________________________________________

ОТЧЕТ за 2015 г

Научно-технологического центра «Микро- и наноэлектроника»

 

1. В 2015 г. выполнялись 2-й и 3-й этапы ПНИ (прикладного научного исследования) по ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014 - 2020 годы» на тему:

«Исследования и разработка методов и компонентов антиколлизионной защиты информационно-телекоммуникационных систем радиочастотной идентификации, использующих радиочастотные идентификационные метки на поверхностных акустических волнах» (НИР «Коллизия»).

   Годовой объем субсидии составил 8640 тыс. руб.

   Результатом проведенных работ явилось создание математических моделей, алгоритмов и программ для моделирования процессов в радиочастотных идентификационных метках СВЧ диапазона, расчет их конструкций и изготовление 1000 меток. Все пункты Технического задания и Плана-графика выполнены полностью. (зам. рук. НТЦ Д.С.Сучков, инженеры НТЦ С.С.Янкин, В.А.Николаевцев, Литвиненко А.В., аспирантка, м.н.с. НТЦ Шатрова Ю.)

 

2. Созданы

- опытные образцы уникальных по сохранности кода радиочастотные идентификационные метки в диапазонах частот «900 МГц», «2.45 ГГц», «6 ГГц» (с.н.с. НТЦ Авдеев К.С., вед. инж. НТЦ Никулин А.А., аспиранты, инженеры НТЦ Комков С.В., Пиловец А.А.)  

- СВЧ акустические линии задержки с уникальными параметрами (вед. инж. НТЦ А.В.Толстиков),

- устройство для исследования разрушения микрокапсул при воздействии ультразвука (м.н.с. НТЦ Селифонов А.В.).

 

3. По результатам проведенных работ

- защищены 3 диссертации- 2 на соискание ученой степени кандидата физ.-мат. Наук (Янкин С.С., Литвиненко А.В.) и одна на соискание международной ученой степени PhD (Янкин С.С.),

- опубликовано 5 статей в журналах и изданиях, индексируемых в Scopus,

сделано

- 2 доклада на Всемирном Симпозиуме по ультразвуку в г. Метц (Франция) (Янкин С.С., Шатрова Ю.).

- 1 доклад на Международной конференции в ВИАМ (Москва) (Селифонов А.В.),

- 1 доклад и участие в жюри на Международном научном форуме «Наука будущего – наука молодых» (Севастополь) (Янкин С.С.)

подана 1 заявка на изобретение.

 

            4. По комплексу оборудования НТЦ проведены следующие работы:

- установлены и запущены в эксплуатацию установка плазмохимического травления CORIAL 200IL, лазерный профилометр OLYMPUS LEXT, СВЧ зондовая станция,

- проведено техническое обслуживание камеры «Чистая комната» с заменой фреона, воздушных и водяных фильтров.

 

            5. Основные проблемы, затрудняющие проведение исследований:

- незавершенность технологической линейки оборудования (установка очистки, азотный ресивер, шлюз для входа в «чистую комнату»),

- отсутствие гермозоны,

- трудности закупки импортных химических материалов для электронной литографии,

- финансирование текущих расходов по эксплуатации оборудования;

            6. Задачи на 2016 г.

- успешно завершить НИР «Коллизия»,

- завершить комплектацию технологической линейки,

- создать гермозону, для обеспечения требуемого режима чистоты,

- провести техническое обслуживание Системы электронно-лучевой литографии высокого разрешения CABL-9000C с привлечением японских специалистов,

- подать не менее 2 заявок на конкурсы по фундаментальным и прикладным исследованиям, а также по инновационным проектам,

- заключить не менее 1 хоздоговора на оказание технологических услуг.

 

 

Руководитель НТЦ                                                                 С.Г.Сучков